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    探針臺

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    高低溫真空探針臺

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    變溫范圍大,溫度穩定性好,可用于不同溫度范圍內的材料測試。

    所屬類別:材料分析設備 ? 探針臺

    所屬品牌:

    產品負責人:

    姓名:李工(Mark)

    電話:185 1643 1530(微信同號)

    郵箱:tiemin-li@auniontech.com


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    真空探針臺可實現高真空環境下的高溫及低溫電學性能測量,真空腔一體成型,具有設計合理,真空度穩定,溫控精度及機械精度高等特點;根據測試溫度范圍不同,可單選高溫或低溫等相應組件,溫度可達到1000℃,低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件,溫度可低至77K/10K,;真空系統可選機械泵或分子泵系統,真空度可達到10-3Torr或10-6Tor。




    應用

    可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析,如:半導體/微電子,電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。




    技術參數

    顯微鏡配置               顯微鏡/視頻顯微鏡

    顯微鏡                      放大倍數50倍

    視頻成像配置            ccd成像系統,放大倍數300倍

    樣品臺尺寸80mm     漏電電流<10fA

    真空室真空度            10-3Torr (10-6Torr或更高可選)

    探針座配置               x/y/z行程40mm 精度 1μm

    探針配置                  尺寸 0.5X30mm 材質 金

    溫度范圍                  77K-570K  液氮制冷 10K-570K  液氦制冷     溫度最高可到1000K

    觀察窗尺寸              100mm

    真空系統                  機械泵或分子泵

    接口配置                  三同軸

    測試源表                  連接各類測試源表,并可進行相應的軟件二次開發,加大系統整合性及測試穩定性,支持RF測試

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    產品標簽:探針臺,高低溫探針臺,光電流測試 ,I-V/C-V測試 ,微波測試 ,失效分析,可靠性測量,光電器件,液氮制冷,液氦制冷,霍爾效應,磁輸運,載流子濃度,納米材料,功能材料,拓撲絕緣體