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    拉曼光譜儀 | 拉曼顯微成像儀

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    滑動式二硫化鉬CVD制備設備

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    滑動式二硫化鉬CVD制備設備,穩定可靠

    所屬類別:光譜儀器 ? 拉曼光譜儀 | 拉曼顯微成像儀

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    產品負責人:

    姓名:李工(Mark)

    電話:185 1643 1530(微信同號)

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    滑動式二硫化鉬CVD制備設備


    一、 概述
    硫粉預熱器采用管內測控溫以保證在250℃以下,穩定控制硫蒸汽的蒸發時機和蒸發溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復合真空計(在1000Pa以上測量不受氣體種類影響,耐硫蒸氣腐蝕),通過調節真空蝶閥的開啟程度調節爐管內壓力穩定,在1200℃以下的工藝溫度穩定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
    二、  設備組成
    HCVD-1200S雙溫區管式爐,HTF400C硫粉預熱器(雙溫區管式爐與預熱器可滑動),質量流量計供氣系統,機械式真空泵等組成。
     三、  主要技術參數
    硫粉預熱器 

    型號:HTF-400C

    工作溫度:350℃

    MAX溫度:400℃

    MAX升溫速率:30℃/min

    推薦升溫速率:10℃/min

    控溫方式:智能化30段可編程控制

    工作電壓:AC220 V額定功率:800W

    控溫精度:±1℃

    加熱元件:電阻絲 

    雙溫區硫化爐 

    型號:HCVD-1200S

    技術參數:額定功率(KW):3

    額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

    MAX溫度(℃):1200(1 hour)

    持續工作溫度(℃):1100

    升溫速率(℃/min):≤50

    爐管尺寸(mm):高純石英管Φ50×1500mm

    加熱區長度(mm):440mm

    恒溫區長度(mm):200mm 

    控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

    控溫精度(℃):±1

    加熱元件:電阻絲
    供氣系統GMF3Z 

    質量流量計重量:35Kg

    外形尺寸:600x600x650mm

    連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭

    標準量程(N2標定):50sccm、200sccm、500sccm; (可根據用戶要求定制)

    準確度:±1.5%線性:±0.5~1.5%重復精度:±0.2%

    響應時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

    工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa MAX壓力:3MPa

    接口:Φ6,1/4''

    顯示:4位數字顯示

    工作環境溫度:5~45℃

    內外雙拋不銹鋼管:Φ6

    壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

    截止閥:Φ6
    低真空機組VAU-02 

    技術參數:

    空氣相對濕度≤85%

    工作電電壓:220V±10%  50~60HZ

     功率:1千瓦

    抽氣速率:4L\s

    極限真空:4X10-2Pa

    實驗真空度:1.0X10-1Pa

    容油量:1.1L

    進氣口口徑:KF25

    排氣口口徑:KF25

    轉速:1450rpm

    噪音:50dB

    外型尺寸:450×180×240mm
    配真空粉塵過濾器,DN25手動蝶閥用于控制爐管內壓力,INFICON PCG554復合真空計


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    產品標簽:二維材料, 二硫化鉬,CVD, 光電器件, 石墨烯, 材料制備

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