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    純相位空間光調制器

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    超快激光并行加工專用液晶空間光調制器

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    超快激光并行加工專用液晶空間光調制器

        

          液晶空間光調制器(SLM,Spatial Light Modulator)是一種可以通過輸入的灰度信息改變液晶兩端的控制電壓,實現液晶分子偏轉,改變入射光的光程差的器件。超快激光并行加工專用液晶空間光調制器可以改變激光的振幅、相位、偏振態等信息,可以靈活的實現激光的分束功能,同時可以控制多光束的焦點位置,光束數量,光束間隔等,從而實現高效精準的超快激光并行加工?;诳臻g光調制器的計算全息技術可以實現靈活可控的光場分布,飛秒激光可以被精確的調制成預設的多焦點圖案陣列,從而實現高效的并行加工,可以大大的提高加工效率。同時利用空間光調制器可以方便的生成貝塞爾光束,可以實現微環形結構的單次曝光式加工。

          美國Meadowlark Optics公司的1920x1152P1920)系列空間光調制器的損傷閾值可達200W/cm2,配備水冷模塊,保證液晶的溫度恒定,相位調制深度恒定。同時該系列的空間光調制器具有具有分辨率高(1920x1152)、大面陣(17.7x10.6mm)、高填充因子(96%)、高刷新速率([email protected])、高相位穩定性(<0.5%)、寬波段(400-800nm,600-1300nm,850-1650nm)自帶優化算法控制軟件等特點,必將成為超快激光并行加工的利器。

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